Nikon start in drie landen rechtszaken tegen chipmachinemaker ASML en Carl Zeiss, maker van optische onderdelen. Volgens de Japanners maken het bedrijf uit Veldhoven en het Duitse concern inbreuk op intellectuele eigendommen. Het gaat om immersietechnologie, een productiemethode voor chips waarbij behandeld silicium met ultraviolet licht wordt beschenen. Nikon claimt dat ASML en Carl Zeiss inbreuk maken op de patenten van die technologie.
Nikon is rechtszaken gestart in Japan, Nederland en Duitsland. Volgens de Japanners maken ASML en Carl Zeiss gebruik van door Nikon geoctrooieerde technologie. ASML’s lithografiemachines (ook chipmachines genoemd) zouden wereldwijd zonder toestemming van Nikon gebruikmaken van gepatenteerde technologie om halfgeleiders te produceren.
Volgens Nikon, dat zich op de jaarcijfers van 2016 van ASML baseert, maakt ongeveer driekwart van de verkochte ASML-machines gebruik van immersietechnologie. Bij die productietechnologie voor chips wordt bij het etsen van transistorlijnen een met fotografisch materiaal behandelde silicium plaat (wafer) belicht met ultraviolet licht. Zo ontstaat een patroon van lijntjes op de wafer. Als die lijnafstand is te verkleinen, zijn meer elementen op de chip aan te brengen.
Nikon wil compensatie voor de ruim 3,5 miljard euro die ASML met de verkoop van de chipmachines verdiende en eist dat de chipmachinemaker en Carl Zeiss de verkoop en distributie staken.
Nikon: 'We hebben overleg gevoerd met ASML en Zeiss om in deze kwestie tot een oplossing te komen, maar deze pogingen, die werden begeleid door een zeer ervaren mediator, hebben niet tot een schikking geleid.'
Volgens Nikon is er door het aanhoudende onrechtmatige gebruik van gepattenteerde technologie door ASML en Zeiss geen andere keuze dan de gang naar de rechter. Het bedrijf heeft in Nederland elf octrooi-inbreukzaken tegen ASML aangespannen bij de rechtbank Den Haag.
ASML, Canon, en Nikon startten in de jaren tachtig van de vorige eeuw gezamenlijk onderzoek naar immersietechniek, maar gingen vervolgens elk hun eigen weg om een werkende en verkoopbare chipmachine op de markt te brengen.
Nikon schetst de achtergrond van het geschil met ASML en Zeis in het volgende kader.
Het heeft niks te maken met uv-licht, lijntjes of wat ook. Dat was allemaal al. Bij immersie lithografie gaat het erom dat de belichting plaats vind via water en er dan geen overgang met lucht meer tussen is. Zo kan er nauwkeuriger gewerkt worden en lijntjes dichter op elkaar gemaakt worden. Immersie betekent letterlijk onderdompeling. https://en.wikipedia.org/wiki/Immersion_lithography
Immersie-lithografie is inmiddels al best oud ( >10 jaar) en wijdverbreid. Het artikel weidt niet uit of het over een specifiek onderdeel van deze techniek gaat of over het geheel. Vreemd is in ieder geval dat Nikon daar nu pas mee komt.
Lees meer over